사불화탄소(CF4) 고순도 가스
기본정보
| 카스 | 75-73-0 |
| EC | 200-896-5 |
| UN | 1982년 |
이 자료는 무엇입니까?
사불화탄소는 표준 온도와 압력에서 무색, 무취의 기체입니다. 강한 탄소-불소 결합으로 인해 화학적으로 매우 불활성입니다. 이는 정상적인 조건에서 가장 일반적인 물질과 반응하지 않게 만듭니다. CF4는 지구 온난화에 기여하는 강력한 온실가스입니다.
이 자료를 어디에 사용하나요?
1. 반도체 제조: CF4는 전자 산업에서 플라즈마 에칭 및 화학 기상 증착(CVD) 공정을 위해 광범위하게 사용됩니다. 이는 반도체 장치에 사용되는 실리콘 웨이퍼 및 기타 재료의 정밀 에칭에 도움이 됩니다. 화학적 불활성은 이러한 과정에서 원치 않는 반응을 방지하는 데 중요합니다.
2. 유전체 가스: CF4는 고전압 전기 장비 및 가스 절연 개폐 장치(GIS)의 유전체 가스로 사용됩니다. 높은 유전 강도와 우수한 전기 절연 특성으로 인해 이러한 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.
3. 냉동: CF4는 일부 저온 응용 분야에서 냉매로 사용되었지만 높은 지구 온난화 가능성에 대한 환경 문제로 인해 사용이 감소했습니다.
4. 추적 가스: 누출 감지 공정에서 추적 가스로 사용할 수 있으며, 특히 고진공 시스템 및 산업 장비의 누출을 식별하는 데 사용할 수 있습니다.
5. 교정 가스: CF4는 알려진 안정적인 특성으로 인해 가스 분석기 및 가스 감지기에서 교정 가스로 사용됩니다.
6. 연구개발 : 재료과학, 화학, 물리학 실험 등 다양한 목적의 실험실 연구개발에 사용됩니다.
이 재료/제품의 사용에 대한 특정 적용 및 규정은 국가, 산업 및 목적에 따라 다를 수 있습니다. 어떤 용도로든 이 재료/제품을 사용하기 전에 항상 안전 지침을 따르고 전문가와 상담하십시오.
